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    67項電子特氣標準盤點

    2021-11-25 00:00:00

    特種氣體是用途有別于一般氣體的氣體,是一個籠統的概念。它在純度、品種、性能方面都是嚴格按照一定規格進行生產和使用的。一般認為,特種氣體是由電子氣體、高純石油化工氣體和標準混合氣體所組成。另外,在半導體制造業中,氣體還可以分為大宗氣體和電子氣體,大宗氣體是指集中供應且用量較大的氣體,如N2、H2、O2、Ar、He 等。電子氣體主要是半導體制造的每一個過程如外延生長、離子注入、摻雜、刻蝕清洗、掩蔽膜生成所用到的各種化學氣體,如高純SiH4、PH3、AsH3、B2H6、N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、BCI3、BF3、HCI、CI2等,又可稱為電子特種氣體。

    電子特種氣體是超大規模集成電路、平板顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光纖等電子工業生產不可或缺的原材料,它們主要應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。電子工業服務的電子氣品種繁多,用途五花八門。各類半導體用電子氣體標準主要由全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會制定。

    不斷推動電子特氣產業發展,國家出臺了各種相關標準。儀器信息網特對電子特氣相關標準規范進行盤。本次盤點涉及國際標準和國家標準兩類,涉及國際標準40項,國家標準27項,共計67項標準。詳情如下


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